硅片有边长 125mm、156mm 的，125 的又分大倒角对角线 156mm 和小倒角对角线 165mm，多晶硅片以边长 156mm 为主，对角线 219.2mm。
硅片检测主要测试项目有：边长、对角线、倒角、厚度、TTV、线痕、崩边、隐裂、翘曲、油污、电阻率、少子寿命。
硅片都做那几个方面的检测？
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