对于制作 LED 芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和 LED 器件的要求进行选择。目前市面上一般有三种材料可作为衬底:
· 蓝宝石(Al2O3)
· 硅 (Si)
· 碳化硅(SiC)
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